解决方案
蓝宝石衬底抛光解决方案
蓝宝石衬底主要加工为4寸、6寸片，蓝宝石衬底片研磨抛光均为单面粘蜡加工。加工工艺流程为：切割→减薄→双面粗磨→单面精磨→单面抛光→清洗→包装。
耗材方案
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切割工序
切割液+金刚石切割线
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粗磨工序
碳化硼研磨液+铸铁盘
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精磨工序
团聚金刚石精磨液+无纺布研磨垫
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抛光工序
氧化铝抛光液+无纺布抛光垫
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切割工序
加工耗材：金刚石切割线 加工速度：2800m/min 加工工件：蓝宝石衬底片 线径尺寸：0.16-0.18mm 加工时间：＜20H 耗线量：540-580m/pc 平均厚度：580μm TTV（平均值）：＜15μm WARP（平均值）：＜20μm BOW（平均值）：＜12μm
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粗磨工序
研磨机: 16B双面研磨机 研磨液：碳化硼研磨液 盘面:铸铁盘(ZT001) 压力：450kg 压强：115g/cm2 下盘转速：30RPM 去除率: 5~10μm/min
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精磨工序
研磨机: 18B单面研磨机 加工耗材: 团聚金刚石粗磨液 研磨垫:复合聚氨酯无纺布研磨垫（蜂窝研磨垫） 压力：300kg 压强：273g/cm2 转速：PP头40RPM 下盘45RPM 研磨时间：20-30min 研磨片数：14pcs 液流量：10-15ml/min 去除率: 1.0~1.5μm/min 表面粗糙度(Ra):6-10nm
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抛光工序
研磨机: 18B单面研磨机 加工耗材: 氧化铝抛光液 研磨垫:无纺布研磨垫（LZ-NW85） 压力：300kg 压强：273g/cm2 转速：PP头40RPM 下盘45RPM 研磨时间：60-120min 研磨片数：14pcs 液流量：4ml/min（循环） 去除率: 0.1~0.15μm/min 表面粗糙度(Ra):0.1-0.3nm
以上测试参数仅供参考